資料介紹
本內(nèi)容詳細(xì)介紹了GALIL各種運(yùn)動(dòng)控制器的應(yīng)用案例
晶片定位機(jī)
1. 系統(tǒng)概述
在半導(dǎo)體工業(yè)中,硅晶片在從一個(gè)工序移動(dòng)到下一個(gè)工序的過程中是被裝在盒子里的。
當(dāng)盒子到達(dá)某一位置時(shí),晶片搬運(yùn)機(jī)器人就把晶片從盒子里轉(zhuǎn)移到加工模塊,一次一片。機(jī)
器人必須跳過沒有晶片的位置或者那些一個(gè)槽里不止一片晶片的位置(雙槽)。為了獲得這
些位置信息,在機(jī)器人搬運(yùn)這些晶片之前,晶片在盒子中的位置需要被定位。
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