#案例1

產(chǎn)線控制圖異常偵測(cè)與優(yōu)化

線上控制圖是工廠用來(lái)偵測(cè)產(chǎn)品規(guī)格是否在可接受范圍內(nèi)的工具，當(dāng)產(chǎn)品規(guī)格超出標(biāo)準(zhǔn)控制限之外 ，工廠需要立即檢測(cè)產(chǎn)線上的制程狀況，并且采取緊急措施將產(chǎn)品的報(bào)廢量降到最低。

在應(yīng)用材料（Applied Materials）公司，某客戶在 CIS產(chǎn)品上的線上控制圖發(fā)生了兩周內(nèi)偵測(cè)值超過(guò)控制線標(biāo)準(zhǔn)，導(dǎo)致設(shè)備需要停止生產(chǎn)，并做相關(guān)清潔工作的情況。然而，每一次的清潔流程都將造成工廠高成本的支出，如何降低此種問(wèn)題發(fā)生的頻率呢？

首先，工程師團(tuán)隊(duì)使用應(yīng)用材料公司的光訊號(hào)偵測(cè)系統(tǒng)來(lái)收集數(shù)據(jù)。然后，利用 JMP軟件的 Box Plot（箱線圖）, Line Plot（線圖）, Distribution Plot（分布圖）, Graph Plot（繪圖）等多種功能對(duì)數(shù)據(jù)做初步檢視，找出異常數(shù)據(jù)點(diǎn)及離群值。

探索完原始數(shù)據(jù)的分布趨勢(shì)后，利用 JMP軟件的ANOVA功能來(lái)分析所有產(chǎn)品之間有無(wú)差異性。接著，使用 JMP軟件的 Sample Power Test決定采取樣品數(shù)量是否足夠采信再使用 JMP的 Equivalent Test, Comparison Test判別兩兩產(chǎn)品之間的差異性。

在確定了差異性顯著后，工程師團(tuán)隊(duì)使用 JMP的 Fit Y by X功能得出回歸模型，將過(guò)往產(chǎn)品收集的原始數(shù)據(jù)利用此模型重新評(píng)估。

最終實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示，應(yīng)用材料公司的光訊號(hào)偵測(cè)系統(tǒng)能有效地幫助線上控制圖的數(shù)據(jù)維持在目標(biāo)上，并且延長(zhǎng)清潔設(shè)備的周期時(shí)間，降低了工廠成本及產(chǎn)品報(bào)廢數(shù)量。

#案例2

改進(jìn)量測(cè)重復(fù)性與再現(xiàn)性GRR

任何有效的數(shù)據(jù)分析都離不開(kāi)數(shù)據(jù)質(zhì)量的保障，數(shù)據(jù)一般情況下是測(cè)量的結(jié)果，而在高精度的半導(dǎo)體高科技制造業(yè)更是如此，其特別強(qiáng)調(diào)測(cè)量數(shù)據(jù)本身的質(zhì)量和相應(yīng)的測(cè)量系統(tǒng)分析，高質(zhì)量的數(shù)據(jù)是精細(xì)化質(zhì)量管理的前提條件。

在應(yīng)用材料公司，工程師想要改進(jìn)擴(kuò)散器（Diffuser）孔徑尺寸的針規(guī)（Pin Gauge）測(cè)量能力。那么，該如何優(yōu)化此項(xiàng)目呢？

工程師團(tuán)隊(duì)決定采用JMP平臺(tái)進(jìn)行分析。

首先，使用 C&E Diagram 列出測(cè)量誤差的潛在根本原因，并利用 DOE 樣本量和功效計(jì)算所需的測(cè)量分辨率 (10%)。

在找到合適的因子之后，使用 Bias and Linearity 確保 GRR 評(píng)估前測(cè)量精度的標(biāo)準(zhǔn)化程序?qū)嵤?/p>

隨后，工程師分別對(duì)操作員和零件使用單因子方差分析來(lái)識(shí)別操作員之間的變異并確定尺寸范圍內(nèi)零件的選擇，進(jìn)一步闡述了GRR標(biāo)準(zhǔn)P/T比（Precision to Tolerance）而非P/TV比（Precision to Total Variance）的原因。

接著，使用 GRR 雙向方差分析來(lái)檢測(cè)由于過(guò)程均勻性而不是由于測(cè)量設(shè)備的可重復(fù)性引起的零件對(duì)操作員交互作用。進(jìn)行Design Choice survey，檢測(cè)接受者在閱讀測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)流程SOP前后對(duì)關(guān)鍵測(cè)量因素的差異，以提高量測(cè)工具的再現(xiàn)性。

最后，使用SPC Chart監(jiān)測(cè)GRR的穩(wěn)定性，計(jì)算GRR P/V比的制程長(zhǎng)期標(biāo)準(zhǔn)偏差，確定制程合理分組，從而成功改進(jìn)項(xiàng)目。

審核編輯：劉清