隨著新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革的加速演進，5G、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等基礎(chǔ)設(shè)施日趨完善，無人駕駛、無人機、VR/AR等終端應(yīng)用技術(shù)商業(yè)化規(guī)?？焖僭鲩L，而連接新一代信息技術(shù)的基礎(chǔ)技術(shù)與終端應(yīng)用的——以MEMS為核心的智能傳感器，正處于爆發(fā)階段。MEMS傳感器的設(shè)計與制造依賴大規(guī)模微納制造技術(shù)，基于此，深圳市微納制造產(chǎn)業(yè)促進會開展MEMS微納制造系列調(diào)研，通過對核心器件市場應(yīng)用的研究，分析其背后微納制造技術(shù)的應(yīng)用，從而促進微納制造技術(shù)的應(yīng)用及推廣。

本期簡報我們從慣性測量單元(IMU)傳感器的應(yīng)用說起。

從JDAM制導(dǎo)炸彈說起

今年五月份爆發(fā)的巴以沖突，再一次向世人展示了現(xiàn)代戰(zhàn)爭的可怕威力。以色列空軍戰(zhàn)機向加沙地帶一幢十四層高的大樓發(fā)射兩枚導(dǎo)彈，就將整幢大樓完全炸平了，是什么技術(shù)讓這導(dǎo)彈能如此精確制導(dǎo)?確切說這并不是導(dǎo)彈，而是美國研制的聯(lián)合直接攻擊彈藥(Joint Direct Attack Munition，字母簡稱JDAM)。JDAM制導(dǎo)炸彈采用自主式的衛(wèi)星定位和慣性導(dǎo)航的復(fù)合式制導(dǎo)，其中制導(dǎo)控制部件(GCU)是JDAM制導(dǎo)炸彈的核心部件，包括GPS接收機、慣性測量單元(IMU)、任務(wù)計算機和電源模塊。而IMU又是核心中的核心。

慣性測量單元(Inertial measurement unit，簡稱IMU)是測量物體三軸姿態(tài)角(或角速率)以及加速度的裝置。IMU的核心裝置是陀螺儀和加速度計。通常情況下，每套慣性測量裝置包含三組陀螺儀和加速度計，分別測量三個自由度的角加速度和線加速度，通過對加速度的積分和初始速度、位置的疊加運算，得到物體在空間位置中的運動方向和速度，結(jié)合慣性導(dǎo)航系統(tǒng)內(nèi)的運動軌跡設(shè)定，對航向和速度進行修正以實現(xiàn)導(dǎo)航功能。

▲圖：慣性導(dǎo)航系統(tǒng)工作原理圖

IMU消費級應(yīng)用爆發(fā)

根據(jù)應(yīng)用場景和精度要求不同，可以將慣性導(dǎo)航所需陀螺儀器件分為戰(zhàn)略級、導(dǎo)航級、戰(zhàn)術(shù)級和商業(yè)級(消費級)：

1、戰(zhàn)略級應(yīng)用場景集中于航天和航海領(lǐng)域;

2、導(dǎo)航級應(yīng)用場景多為各類導(dǎo)彈武器;

3、戰(zhàn)術(shù)級應(yīng)用場景包括地面兵裝武器和飛行器;

4、商業(yè)級應(yīng)用場景為民用。

慣性技術(shù)發(fā)展之初主要用于國防軍工領(lǐng)域，高精度、高靈敏度是面向軍工慣性技術(shù)產(chǎn)品的主要特征。因此國外對高精度慣性技術(shù)和器件嚴密封鎖、對任何國家都是禁運的。

▲圖：慣性導(dǎo)航系統(tǒng)應(yīng)用場景 (來源：中信建投證券)

隨著技術(shù)進步，中低精度的慣性器件發(fā)展迅猛，其成本逐步降低，體積逐步減小，慣性技術(shù)在民用領(lǐng)域也開始得到應(yīng)用，并為越來越多的行業(yè)所了解。尤其微機電慣性器件(MEMS IMU)大規(guī)模生產(chǎn)的實現(xiàn)，使得在較低精度即可滿足應(yīng)用需求的民用領(lǐng)域，慣性技術(shù)產(chǎn)品開始得到廣泛使用，目前應(yīng)用領(lǐng)域與規(guī)模正呈現(xiàn)快速增長的態(tài)勢。下面列舉分析幾個IMU的重要應(yīng)用市場。

慣性導(dǎo)航——自動駕駛核心中的核心

自動駕駛的核心包括定位、感知、決策、執(zhí)行四個部分，其中定位是決策和執(zhí)行的前提。定位系統(tǒng)主要作用是確定車輛所處的絕對位置;感知層的主要作用是收集和解析出周圍環(huán)境的信息;決策層基于對當(dāng)前位置和周圍環(huán)境的理解，做出實時的安全有效的執(zhí)行計劃;執(zhí)行層則是按照決策層的計劃進行。

定位系統(tǒng)主要是以高精地圖為依托，通過慣性傳感器(IMU)和全球定位系統(tǒng)(GNSS)，來精確定位車輛所處絕對位置。慣性導(dǎo)航是不可替代的關(guān)鍵定位技術(shù)，將成為自動駕駛定位信息融合的中心。IMU具有輸出信息不間斷、不受外界干擾等獨特優(yōu)勢，可保證在任何時刻以高頻次輸出車輛運動參數(shù)，為決策中心提供連續(xù)的車輛位置、姿態(tài)信息，這是任何傳感器都無法比擬的。

慣性導(dǎo)航系統(tǒng)在自動駕駛中的應(yīng)用屬于起步階段，短期內(nèi)競爭力主要體現(xiàn)在算法上。算法包括了MEMS慣性傳感器的標(biāo)定等硬件信息的處理，速度、加速度、航向及姿態(tài)的確定，以及與其他傳感器信息、車身信息的融合等主要模塊。算法的優(yōu)劣決定傳感器是否能發(fā)揮其最佳性能，也決定了慣性導(dǎo)航系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。

從長遠看，慣性導(dǎo)航系統(tǒng)的競爭力在慣性傳感器芯片。隨著自動駕駛技術(shù)級別的提升，對MEMS慣性傳感器芯片的性能要求將持續(xù)提高;同時隨著慣性導(dǎo)航系統(tǒng)算法的不斷成熟，通過算法優(yōu)化來提升系統(tǒng)性能的空間越來越小，而對慣性傳感器芯片硬件性能的依賴程度則會相應(yīng)提高。MEMS慣性傳感器芯片的設(shè)計、制造、封測及標(biāo)定將成為慣性導(dǎo)航系統(tǒng)中比較關(guān)鍵的環(huán)節(jié)。

▲圖：無人駕駛市場規(guī)模預(yù)測(來源：Yole)

無人機

通過利用慣性器件及捷聯(lián)慣性導(dǎo)航技術(shù)，可以為無人機提供精確的速度、位置和姿態(tài)等信息，從而實現(xiàn)其精確的導(dǎo)航定位和姿態(tài)控制。目前無人機在軍事領(lǐng)域的應(yīng)用最為成熟，同時隨著人們對無人機認知程度的加深，其在遙感測繪、邊海防、森林防火、管道巡線、應(yīng)急救災(zāi)、警務(wù)執(zhí)法等民用領(lǐng)域呈現(xiàn)出迅猛的發(fā)展態(tài)勢。

▲圖：2016-2019年中國民用無人機市場規(guī)模及增速(來源：前瞻產(chǎn)業(yè)研究院)

我國民用無人機市場將繼續(xù)保持高速增長。根據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù)，2019年中國民用無人機銷售規(guī)模為134.8億元，同比增長53.2%，近三年增速始終維持在50%以上，預(yù)計到2025年，我國民用無人機市場規(guī)模將達到560億元，平均增速將在30%左右，各應(yīng)用領(lǐng)域也將逐漸形成規(guī)?；氖袌?，發(fā)展前景良好;其中，航拍及娛樂仍是最大的應(yīng)用領(lǐng)域，市場規(guī)模有望達300億元。未來無人機領(lǐng)域的慣性導(dǎo)航產(chǎn)品將充分受益于無人機市場的高速增長，成為民用市場重要增長點之一。

VR/AR

VR/AR帶給用戶的沉浸感和真實感，也源于IMU的精度提高。在IMU刷新率和顯示刷新率同步提高的今天，VR內(nèi)容得以實時適配頭部和身體的敏捷移動和旋轉(zhuǎn)，讓用戶察覺不到延遲和卡頓，進而減少暈車感。

根據(jù)國際數(shù)據(jù)分析公司IDC的數(shù)據(jù)，2020年全球VR頭顯出貨量達670萬臺，較2019年增長72%，AR眼鏡出貨量40萬臺，增長33%。2021年預(yù)計國內(nèi)VR產(chǎn)業(yè)在消費端迎來變量和拐點，AR產(chǎn)業(yè)也將看到新的突破。

▲圖：AR/VR產(chǎn)業(yè)發(fā)展預(yù)測

IMU市場格局

全球慣性技術(shù)開發(fā)分為四個層次，目前我國居第三層次，具備部分研發(fā)能力。根據(jù)美國國防部的統(tǒng)計數(shù)據(jù)，美國防部把從事慣性技術(shù)領(lǐng)域研究和開發(fā)的國家分為4個層次：屬于第一層次的有美國、英國和法國，完全具備自主研究和開發(fā)慣性技術(shù)能力;屬于第二層次的有俄羅斯、德國、以色列和日本，具備大部分自主研發(fā)能力;屬于第三層次的有中國、澳大利亞、加拿大、瑞典、烏克蘭，具備部分研發(fā)能力;屬于第四層次的有韓國、印度、巴西、朝鮮、瑞士、意大利等，具備較為有限的慣性技術(shù)研發(fā)能力。

美國的霍尼韋爾、諾格和法國的賽峰為全球慣性技術(shù)領(lǐng)域頂尖公司。目前，美國主要的慣性導(dǎo)航技術(shù)公司包括：霍尼韋爾、諾格公司、大西洋慣性系統(tǒng)、亞諾德半導(dǎo)體(ADI)和吉爾福特等;法國主要的慣性導(dǎo)航技術(shù)公司包括賽峰、iXblue、泰雷茲集團等。其他國家主要的慣性技術(shù)公司包括：英國BAE系統(tǒng)公司;德國博世公司;俄羅斯物理光學(xué)、陀螺儀光學(xué)、拉明斯克儀表廠和Optolink;日本航空電子工業(yè)、三菱精密;挪威Sensonor等。

在專利申請及發(fā)文數(shù)量方面，據(jù)Yole發(fā)布的陀螺儀專利報告，美國、日本、德國、歐專局、法國等國家/機構(gòu)的激光陀螺儀領(lǐng)域研究發(fā)文數(shù)量占總數(shù)量的近75%。德國博世公司 MEMS陀螺儀專利申請最多，行業(yè)龍頭占據(jù)了陀螺儀大部分核心基礎(chǔ)專利。

美國電氣和電子工程師協(xié)會(IEEE)迄今制定了約十余項慣性技術(shù)基礎(chǔ)及儀表標(biāo)準?；竞w了慣性技術(shù)核心產(chǎn)品和通用技術(shù)，成為美國事實國家標(biāo)準。

目前，我國已具備研制生產(chǎn)高、中、低精度不同慣性儀表及系統(tǒng)的能力和條件，可生產(chǎn)的陀螺儀包括氣浮、液浮、撓性、靜電到激光、光纖、MEMS以及原子陀螺儀。但是，與國外目前主流應(yīng)用陀螺儀——包括光學(xué)陀螺儀(激光、光纖)和MEMS陀螺儀相比，在精度、可靠性等指標(biāo)仍有一定差距。

MEMS制造之困

IMU的核心器件陀螺儀與加速計的MEMS制造在工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域都形成替代趨勢。

MEMS技術(shù)基于已經(jīng)相當(dāng)成熟的微電子技術(shù)、集成電路技術(shù)及其加工工藝。它與傳統(tǒng)的IC工藝有許多相似之處，如光刻、薄膜沉積、摻雜、刻蝕、化學(xué)機械拋光工藝等，但是有些復(fù)雜的微結(jié)構(gòu)難以用IC工藝實現(xiàn)，必須采用微加工技術(shù)制造。

微加工技術(shù)包括硅的體微加工技術(shù)、表面微加工技術(shù)和特殊微加工技術(shù)。體加工技術(shù)是指沿著硅襯底的厚度方向?qū)枰r底進行刻蝕的工藝，包括濕法刻蝕和干法刻蝕，是實現(xiàn)三維結(jié)構(gòu)的重要方法。表面微加工是采用薄膜沉積、光刻以及刻蝕工藝，通過在犧牲層薄膜上沉積結(jié)構(gòu)層薄膜，然后去除犧牲層釋放結(jié)構(gòu)層實現(xiàn)可動結(jié)構(gòu)。

▲圖：MEMS制造共性工藝、特殊工藝及最終產(chǎn)品(來源：上海微技術(shù)工研院)

目前我國產(chǎn)線僅能制備以壓力傳感器、MEMS麥克風(fēng)、加速度計等為主的低端產(chǎn)品，制造工藝水平與國際領(lǐng)先代工廠的差距明顯，諸如壓電材料(AlN、PZT等)等高端制造工藝線尚未建立，無法生產(chǎn)薄膜體聲波濾波器、壓電式噴墨打印頭和超聲波傳感器等產(chǎn)品。盡管中國MEMS代工廠也擁有體微加工技術(shù)、表面微加工技術(shù)和CMOSMEMS技術(shù)，但由于產(chǎn)品出貨量都比較小，因此在量產(chǎn)良率、可靠性和穩(wěn)定性等方面存在不足。

中國MEMS產(chǎn)業(yè)面臨的最大問題是：缺乏開放、專業(yè)的規(guī)?；疢EMS代工廠，無法解決眾多MEMS設(shè)計企業(yè)的制造工藝問題。雖然傳統(tǒng)的IC代工廠，如中芯國際、華潤上華、華虹宏力等開展了MEMS代工業(yè)務(wù)，但是主要以壓力傳感器、MEMS麥克風(fēng)、加速度計等成熟的中低端產(chǎn)品為主，制造工藝水平與國際領(lǐng)先代工廠的差距明顯，例如國內(nèi)還沒有成熟的壓電MEMS代工服務(wù)。同時，蘇州、淄博、上海等城市紛紛建設(shè)了公共加工平臺，如蘇州納米所納米加工平臺、蘇州納米城MEMS中試平臺、上海微技術(shù)工研院“超越摩爾”研發(fā)中試平臺、淄博高新區(qū)MEMS中試平臺等，為MEMS創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)提供服務(wù)支撐，不過量產(chǎn)經(jīng)驗較為匱乏。

產(chǎn)業(yè)化建議

國內(nèi)MEMS陀螺儀的研發(fā)均處于工程樣機階段，國外高端陀螺儀對國內(nèi)禁運，在軍事國防、汽車電子等領(lǐng)域有著很好的產(chǎn)業(yè)化空間。國外高端器件仍處于禁運狀態(tài)，若能實現(xiàn)MEMS陀螺儀的批量化生產(chǎn)，經(jīng)濟效益可觀，僅以汽車電子為例，我國每年高端車的銷售超過數(shù)百萬輛，高端車均配備微機械陀螺儀，僅此一項的經(jīng)濟效益已足夠。

一、加大公共研發(fā)、加工平臺的建設(shè)

MEMS傳感器的生產(chǎn)具有規(guī)模效應(yīng)，規(guī)模越大，成本越低，競爭力越強?；趪鴥?nèi)MEMS傳感器市場分散、整體研發(fā)實力不強的特點，建立公共加工、中試平臺是關(guān)鍵，應(yīng)加大相關(guān)公共研發(fā)、加工平臺的建設(shè)。

二、加強微納制造技術(shù)工藝的應(yīng)用與推廣

高端精密器件的研發(fā)和生產(chǎn)，依賴微納制造技術(shù)和工藝。目前新的微納制造技術(shù)如3D打印、激光直寫、電子束光刻、納米壓印技術(shù)都處于技術(shù)不斷完善及應(yīng)用推廣階段，業(yè)界應(yīng)密切關(guān)注這些技術(shù)的研發(fā)和應(yīng)用。

三、投入專利聯(lián)盟、專利池建設(shè)

在慣性傳感器等MEMS傳感器領(lǐng)域，我國絕大多數(shù)企業(yè)屬于跟進者。為降低知識產(chǎn)權(quán)侵權(quán)風(fēng)險，消除專利實施中的授權(quán)障礙，降低獲得專利許可的交易成本，建議業(yè)內(nèi)成立專利聯(lián)盟，建設(shè)MEMS傳感器專利池。同時企業(yè)需要重視MEMS知識產(chǎn)權(quán)的戰(zhàn)略布局，強化國際交往與合作，擴大國際知識產(chǎn)權(quán)交流合作。

審核編輯：湯梓紅